罗茨真空泵（简称罗茨泵）是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演化而来的。依据罗茨真空泵工作范围的不同，又分为直排大气的低真空罗茨泵；中真空罗茨泵（又称机械增压泵）和高真空多级罗茨泵。普通来说，罗茨泵具有以下特性：

在较宽的压强范围内有较大的抽速；

起动快，能立刻工作；

对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感；

转子不用光滑，泵腔内无油；

振动小，转子动均衡条件较好，没有排气阀；

驱动功率小，机械摩擦损失小；

构造紧凑，占空中积小；

运转维护费用低。

因而，罗茨泵在冶金、石油化工、造纸、食品、电子工业部门得到普遍的应用。

在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，坚持有一定的间隙，可以完成高转速运转。由于罗茨泵是一种无内紧缩的真空泵，通常紧缩比很低，故高、中真空泵需求前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了进步泵的极限真空度，可将罗茨泵串联运用。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不时旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封锁状态，所以，在泵腔内气体没有紧缩和收缩。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时，下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时， 该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，惹起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时，下转子封入的气体，连同返冲的气体一同排向泵外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时，上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°位置和0°位置是一样的。